設備一覧

Equipment list

保有設備一覧

吉川アールエフセミコンでは、ウエハテストからファイナルテスト、バックエンドまでの全て工程において

お客様のニーズにあった豊富なラインナップにて、半導体業界の期待に応えています!

用途 メーカー 機種名 主な仕様
ロジック
テスタ
ADVANTEST T3347A 周波数=40MHz、I/O=256pin、2ST、STE=1MW、SBM=256MB、ALPG、ADC、IDDQ等オプション有
T6575 周波数=125MHz、I/O=512pin ADDA、IDDQ、SCAN、ALPG
T6577 周波数=125MHz、I/O=1024pin VAFG/D、BBWG/D、SCAN、ALPG
T2000 周波数=500MHz、I/O=1024pin、LCDPS、DPS500mA、PMU32、RC5V192
横河電気 TS6000 周波数=20MHz、I/O=512pin SCAN、ALPG
TS600 周波数=20MHz、I/O=512pin SCAN、ALPG
TS6000H(AL9740) 周波数=125MHz、I/O=768pin SCAN、ALPG、DPSTH=8ch
安藤電気 AL9737 周波数=100MHz、I/O=512pin ALPG、SPU
用途 メーカー 機種名 主な仕様
メモリテスタ ADVANTEST T5377 周波数=143MHz/286MHz、PPS256/ST、DRV2048pin/ST、I/O1280pin/ST、LevelDRV256pin/ST、256同測/ST、FM128Gb
T5761 周波数=66MHz、(DRV10pin+I/O10pin)*128サイト
用途 メーカー 機種名 主な仕様
アナログテスタ
(ミックスドシグナル)
ADVANTEST T7912A 周波数=10MHz、I/O=64pin、TMU、HMDC2(±128V,±3A)、HVDC(+2000V)
横河電気 TS1000 周波数=5MHz、I/O=96pin(中継BOX:48pin) TIM、HRG/D、UVI、WFG/D
Verigy V93000 周波数=50MHz、I/O=192pin AV8
HEWLETT PACKARD HP94000/9494/
9493/9492
周波数=32MHz、I/O=64/128pin AWG/DIGITIZER
シバソク WL25 Perpin DC : 512pin , 周波数=5MHz , 16同測 , HighPower V/I : ±60V,±10A
テラダイン Catalyst Video Options : 4sets
その他 YTEC S100 周波数=100MHZ、 I/O=512pin(最大) 4SLOT Type 128同測
  • LOGIC(PE:-2~7V、PPMU:-2~11.8V/±32mV、DPS:-1~15V/±0.7A、PMU:±10V/±500mA、TMU:200MHz/5ns~83ms)
  • MIP (LCPMU:±10V/±67mA、MCPMU:±40V/±1A、FTMU:1.6GHz/0.625ns~10s)
  • MIX (AWG:1MHz/250MHz、DIGITIZER:1MHz/100MHz)
  • HIP (HVPMU:±260V/±50mA、HCPMU:±40V/±10A、VHV:±800V/50mA)
用途 メーカー 機種名 主な仕様
プローバ 東京精密 UF190 ウェハサイズΦ5”,Φ6”,Φ8” 50℃~150℃   *インクマーク専用
UF200 ウェハサイズΦ5”,Φ6”,Φ8” 50℃~150℃ クリーニングユニットΦ5
UF200A ウェハサイズΦ5”,Φ6”,Φ8” 50℃~150℃ クリーニングユニットΦ5
FP200A
通常ウェハ
ウェハサイズΦ5”,Φ6”,Φ8” 50℃~150℃
個辺ウェハ
フレーム2-6-1or2-8-1 温度制御無し
共通
クリーニングユニット200×90  クリーニングブラシ
UF3000 ウェハサイズΦ8”,Φ12” 50℃~150℃ or -40℃~150℃ クリーニングユニット150×150  クリーニングブラシ
UF3000EX-e ウェハサイズΦ8”,Φ12” 50℃~150℃ or -40℃~150℃ クリーニングユニット150×150  クリーニングブラシ
東京エレクトロン P-12XLn ウェハサイズΦ8”,Φ12” 25℃~150℃ or
-40℃~150℃クリーニングユニット(X)230×(Y)155
クリーニングブラシ
用途 メーカー 機種名 主な仕様
ハンドラ エプソン NS-7080 QFP/SOP/TSOP/PGA/BGA/PLCC/PGA/QFN:□3~□50(リードピッチ0.40mm~)
ソケットピッチ:8個測(40x60) 1,2,3,4個測:(80x60)
常温制御無 高温制御(50℃~150℃±3℃)
スループット(8300UPH/8個測時bestefort)
NS-8080 QFP/SOP/TSOP/PGA/BGA/PLCC/PGA/QFN:□3~□50(リードピッチ0.40mm~)
ソケットピッチ:8個測(40x60) 1,2,3,4個測:(80x60)
常温制御無 高温制御(50℃~150℃±3℃)
スループット(8300UPH/8個測時bestefort)
NS-8080W QFP/SOP/TSOP/PGA/BGA/PLCC/PGA/QFN:□3~□50(リードピッチ0.40mm~)
ソケットピッチ:8個測(40x60 / 60x60) 1,2,3,4個測:(80x60)
常温制御無 高温制御(50℃~130℃±3℃)
スループット(8200UPH/8個測時bestefort)
テセック HS-2040 QFP/SOP/TSOP:□7~□32(4DUT時□7~□20)
BGA/QFN:□4~□20
ソケットピッチ:(80mm/2DUTinline) or (40mm/4DUTinline)
常温制御無 高温制御:50℃~100℃±3℃,100℃~125℃±5℃
9250-IH SOP(4.4mm幅)
ソケットピッチ:4個測(シュートピッチ:50mm / ステーションピッチ:80mm)
プラスチックスティック対象
高温設定(50℃~130℃±3℃)
アピックヤマダ A206x4 BGA/QFP/PLCC/LCC/SOP/SOJ/QFN:□3~□40(厚さ0.8mm~5mm/リードピッチ0.4mm~)
ソケットピッチ:1,2,4個測(横:55mm or 60mm or 73.66mm or 80mm)(縦:40mm or 60mm)
高温試験(50℃~125℃±3℃)
A206sp BGA/QFP/PLCC/LCC/SOP/SOJ/QFN:□3~□40(厚さ0.8mm~5mm/リードピッチ0.4mm~)
ソケットピッチ:2個測(55mm or 60mm or 73.66mm or 80mm)
高温試験(50℃~125℃±3℃)
SYNAX SX2400 BAG/CSP/TSOP/QFP:□7~□40(厚さ0.6mm~5mm/リードピッチ0.4mm~/ボールピッチ0.5mm~)
1,2,4,8個測
低温モード(0℃~-55℃±3℃) 高温モード(50℃~150℃±3℃)
SX1104H BGA/CSP/TSOP/QFP:□3~□38(厚さ0.6mm~5mm/リードピッチ0.4mm~)
ソケットピッチ:2,4個測(横:60mm)(縦:60mm or 80mm)
SX1255H QFP,V,S/TQFP/PLCC/SOJ/TSOP/BAG:□7~□40(リードピッチ0.5mm~)
2個測(縦:50mm)
高温モード(50℃~125℃±3℃)
用途 メーカー 機種名 主な仕様
無塵恒温器
(ベーク炉)
エスペック PVHC-231M
PVHC-231
(外囲温度+ 60)℃~+ 350℃
PVC-230
PVC-231
(外囲温度+ 60)℃~+ 200℃
恒温器
(ベーク炉)
エスペック ST-120 (外囲温度+ 20)℃~+ 200℃
PH-300 (外囲温度+ 20)℃~+ 200℃
トリマ GSI M435 ウェハサイズΦ12” レーザー波長1065nm スポットサイズ1.5~2.7um 最大フィールドサイズ36×36mm 最大発振周波数50kHz
高速針跡検査装置 東京エレクトロン TELPADS ウェハサイズΦ8”,Φ12”
外観検査装置 オリンパス AL3100F ウェハサイズΦ12”
外観検査装置 オリンパス AL110-LMB86 ウェハサイズΦ6”,Φ8”
ウエハクリーナー ハーモテック HWC-0812-11 ウェハサイズΦ8”,Φ12”
スキャナー ICOS T-120 QFP/BGA/QFN□3~□27 異物検査可能 スループット20000UPH(bestefort)
CI-8250 QFP/BGA:□4~□27 スループット4000UPH(bestefort)
安永 LI-700 QFP:□7~□40 / SOP:300mil以上
パッケージ厚:1.0mm以上 / リードピッチ:0.3mm以上 / リード平坦部長:0.3mm以上
処理能力 QFP28x28 208pinパッケージにて1800UPH以上
バーイン 藤田製作所 FBS-1000 ベクタメモリ4Kw 周波数5MHz ALPG,FPGA
IC移載機 DENKEN DKH-SJ200 QFP製品 JECECトレイ⇔カスタムトレイ IC移載
IC自動挿抜機 藤田製作所 BZ-5000TSW QFP製品 バーインボード⇔JEDECトレイ IC移載
藤堂製作所 TR-8000CHT-CS QFP製品 バーインボード⇔JEDECトレイ IC移載
外観検査テーピング装置 PALMEC W110 QFP/SOP/QFN/BGA:□4~□16 裏面リード傷検査・異物検査可能
トレイ to トレイ または、 トレイ to テープ
藤堂製作所 TTI-1200W SOP
トレイ to テープ(エンボスキャリアテープ幅12mm~16mm / カバーテープ幅9.5mm~13.5mm)
永田精機 NK9100 QFP/SOP
トレイ to トレイ または、 トレイ to テープ(エンボステープ幅8mm~24mm)
上野精機 NLT20 SOP
トレイ to テープ
テープtoトレイ移載機 PALMEC RT-3000 テープからトレイへの移載(アンテーピング)可能
プローブカードチェッカー RUDOLPH PRVX3 TS6000H(AL9740)用768pinカード対応
用途 メーカー 機種名 主な仕様
バックグラインド装置 岡本工作機械製作所(株) SVG502MKⅡ8 6/8インチウエハ対応